Нанотехнологии

Описание изобретения к патенту
«СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ЭЛЕМЕНТА НАНОМЕТРОВОГО РАЗМЕРА»

№ патента/заявки: 2011141473/28
Дата приоритета: 2013-03-27
Заявители/Правообладатели:
Автор(ы):
Русецкий Владимир Александрович (RU),
Омороков Дмитрий Борисович (RU)

Патентообладатель(и):
Открытое акционерное общество "Концерн "Созвездие" (RU)

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и наноэлектроники, а именно к технологии формирования упорядоченных наноструктур на поверхности твердого тела, и может быть использовано для создания проводников, длина которых на несколько порядков превышает его диаметр (нанопроволоки). Технический результат - упрощение технологии формирования твердотельных одномерных наноструктур из различных металлов, полупроводников и их сплавов, обладающих стойкостью к внешней среде и более высоким напряжением пробоя. Сущность изобретения: в способе получения проводящего элемента нанометрового размера в среде инертных газов осуществляют начальный этап конденсации, путем магнетронного распыления материала, из которого формируют нанопроволоку, на скол монокристалла в течение заранее определенного промежутка времени t, достаточного для регистрации отдельных зародышей конденсируемого материала на ступенях. Подложку располагают таким образом, чтобы нормаль к ее поверхности составляла угол с направлением потока конденсируемых атомов, априори исключающий образование зародышей между ступенями, но достаточный для образования зародышей конденсируемого материала на ступенях. Затем изготовляют микрофотографию поверхности скола монокристалла, по которой определяют плотность зародышей конденсируемого материала на ступенях и расстояние между ступенями, которые используют для расчета времени формирования нанопроволоки. Конечный этап конденсации материала осуществляют в течение времени, при котором отсутствует электрическая проводимость между ступенями. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.


Для скачивания документа полностью Вам надо войти на сайт под своим именем.
Если Вы еще не регистрировались у нас - сделайте это сейчас.
Нужен кабель? Оформи заявку бесплатно
Прямой эфир
+